SF6氣體有雜質(zhì)和水分，要用檢測(cè)的方法將SF6氣體里的雜質(zhì)和水分的含量測(cè)出來(lái)。SF6氣體中的雜質(zhì)和水分的含量是很微小的，但其危害性則很大，它足以改變SF6氣體的性能。
SF6氣體中的雜質(zhì)和水分主要來(lái)自制造廠，在安裝和運(yùn)輸過(guò)程中也會(huì)滲入到設(shè)備中去。但對(duì)SF6氣體的雜質(zhì)和水分的檢驗(yàn)主要在制造廠里進(jìn)行。
SF6氣體的雜質(zhì)有氟化硫的化合物，如SF2、S2F2、SF4、S2F10等；有氫、氧、碳等元素和氟與硫的化合物，如SOF2、SO2F2、SOF4、S2F10O、HF、SO2、COS、CS2；以及全氟烴類(lèi)，如CF4、C2F6等。
這些雜質(zhì)和水分必須要按照IEC標(biāo)準(zhǔn)或國(guó)家規(guī)定的檢測(cè)方法進(jìn)行檢測(cè)，在氣體制造廠出廠前必須做檢測(cè)報(bào)告，合格后才能出廠。但在氣體填充和運(yùn)輸過(guò)程中也可能混入一些雜質(zhì)；在條件允許的地方也可再次進(jìn)行檢測(cè)，按照GBJ45-90《電氣裝置安裝工程高壓電器施工及驗(yàn)收規(guī)范》第五章中的第5.3.2條的規(guī)定進(jìn)行。
國(guó)家規(guī)定以下六種雜質(zhì)在新SF6氣體中必須進(jìn)行檢測(cè)，即空氣（氧、氮）、四氟化碳、水分、游離酸（用HF表示）、可水解氟化物（用HF表示）、礦物油。其含量按照國(guó)標(biāo)《六氟化硫電氣設(shè)備中氣體管理和檢測(cè)導(dǎo)則》GB8905-88的表1執(zhí)行。對(duì)以上六項(xiàng)雜質(zhì)的檢測(cè)方法簡(jiǎn)述如下。
二、SF6氣體雜質(zhì)和水分的檢測(cè)方法
1、水分的測(cè)定方法
（1）重量法：定量的樣品，通過(guò)吸濕機(jī)（P2O5或MgClO4）后，精確稱(chēng)量其體重變化。這一方法是檢測(cè)氣體中水分的基本方法。
（2）電解法：樣品通過(guò)電解池，水被P2O5膜層吸收同時(shí)被電解，再將此電解后的電流放大，從而測(cè)出水分的含量。
（3）露點(diǎn)法：當(dāng)測(cè)試裝置系統(tǒng)溫度略低于樣品氣體中水蒸汽的飽和溫度時(shí)，測(cè)試系統(tǒng)發(fā)出信號(hào)，經(jīng)過(guò)放大輸出，再根據(jù)露點(diǎn)值來(lái)確定水分的含量。含水測(cè)量?jī)x就是利用這一原理做的。
2、空氣（氧、氮）和四氟化碳（CF4）的測(cè)定方法
用氣相色譜法測(cè)量，可用分子篩法或Parapak—Q法做固定相，用熱導(dǎo)檢定器測(cè)定。熱導(dǎo)校正系數(shù)值：CF4為0.7，空氣為0.4.
3、礦物油的測(cè)定方法
用紅外分光光度計(jì)進(jìn)行測(cè)定。
4、游離酸的測(cè)定方法
采用標(biāo)準(zhǔn)堿定量吸收SF6氣體的酸和酸的生成物，然后用標(biāo)準(zhǔn)酸來(lái)反滴定過(guò)量堿的酸堿中和滴定法。
5、可水解氟化物的測(cè)定方法
用比色分光光度分析法和氟離子選擇電極等兩種方法。
此外，還有SF6氣體中痕量雜質(zhì)的檢驗(yàn)，可參考這方面專(zhuān)門(mén)書(shū)籍。
SF6氣體中水分測(cè)試裝置：HTCMS10型SF6智能微量水分測(cè)量?jī)x（又名露點(diǎn)儀或微水儀） | 
